蓝狮平台-官方注册登录服务中心

代工
TAPEOUT


    爱立特微电子依托于华北、华东、华南以及西南地区国内主流的的微纳加工平台为客户提供专业的流片服务。公司的蓝狮平台-官方注册登录服务中心支持人员多数来自中科院、国内知名高校的微电子半导体领域,普遍具备国际主流FAB厂,主流设备厂商的从业经历,具有丰富的设计及研发能力。尤其擅长在流片阶段为客户提供专业的工艺支持,快速高效的解决客户在微纳加工阶段可能遇到的各种问题。

  • 光刻

    Contact Aligner 1:1

    最小线宽:1um

    对准精度:1um(顶部对准)& 2um(底部对准)

    兼容4英寸和6英寸晶圆

    Lift-Off

    键合

    Si-Glass阳极键合

    Si-Si直接键合

    Glass-Si-Glass三层键合

    Si-Glass-Si三层键合

    金属共晶键合

    热压键合

    粘结剂键合

    干法刻蚀

    深硅刻蚀(深宽比高于35:1

    金属刻蚀(AuTi

    Poly Si刻蚀

    SiO2刻蚀

    SiN刻蚀

    Si牺牲层释放(气相XeF2


    湿法腐蚀

    晶圆清洗(RCA标准清洗)

    光刻胶去除(硫酸、去胶液)

    金属腐蚀(AuCrAlNiTiN

    SiO2腐蚀

    SiN腐蚀

    厚金属剥离

    KOH/TMAH腐蚀台阶

    KOH/TMAH硅片减薄

    金属膜工艺

    溅射TiPtAuAlCuCr

    溅射AlNTiNITO

    蒸发TiPtAuAlNiCr

    电镀AuCuNi、合金


    薄膜工艺

    热生长SiO2

    PECVD 沉积SiO2

    PECVD 沉积 SiN

    LPCVD 生长SiN

    LPCVD 生长SiO2

    LPCVD 生长Poly Si

    掺杂注入

    硼注入

    磷注入

    硼扩散

    磷扩散

    封装测试

    自动划片

    手动贴片

    引线键合

    SEM

    白光干涉

    膜厚台阶测量

    应力分析

    电学性能量测

    3D成像测量